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针对半导体领域:日本电子发布全新高通量电镜JEM-ACE200F

整理时间:2018/12/17  查看次数:0  关键词:来源:  
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12月11日,日本电子总裁Gon-emon Kurihara宣布,日本电子将在2018年12月发布一款新型高通量分析电子显微镜——JEM-ACE200F。预设销售目标为30台/年。

  产品开发背景

  随着半导体工业中器件的进一步小型化,透射电子显微镜(TEM)已经成为器件表征多种应用中必不可少的工具。这些应用包括形态学观察、临界尺寸测量、元素分析、局部应变分析和掺杂浓度测量。特别该工业对形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的要求,以便将这些数据采集反馈至制造过程。

新型高通量分析电子显微镜——JEM-008.jpgACE200F  针对以上需求,日本电子开发了一种新的TEM——JEM-ACE200F。JEM-ACE200F通过创建实际操作工作流程系统,无需操作人员看管操作,即可实现数据的自动生成。

  由于集成了高端电镜JEM-ARM200F和通用型电镜FE-TEM JEM-F 200硬件技术,JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现优秀,同时,其外观方面也进行了更为精致的设计。

  主要特点

  高通量

  与自动显微镜调谐功能(TEM/STEM)相结合的快速数据采集。

  缩短抽真空时间,从插入样品杆到开始观察只需30秒。

  友好的用户界面

  基于日常显微镜操作的精密GUI。

  所有的操作都可以通过鼠标操作来完成。

  流程方案易于编程和更改

  工作流程的方案可以用直观设计的工具进行编程。

  工作流程可以使用各种标准化的编程语言进行灵活的编程。

  环保设计

  采用高度环保的外壳。

  远程操作。

 

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